三維力傳感器要測量三個方向的信號,先確定傳感器中測量的最大值,一般需要選擇一個具有比最大值還要大1.2倍左右的力量值變送器。這主要是在許多系統(tǒng)中,尤其是水壓測量和加工處理中,有峰值和持續(xù)不規(guī)則的上下波動,這種瞬間的峰值能破壞三維力傳感器。持續(xù)的高壓力值或稍微超出三維力傳感器的標定最大值會縮短沖擊力傳感器的壽命,這樣做還會使精度下降。于是可以用一個緩沖器來降低壓力毛刺,但這樣會降低傳感器的響應(yīng)速度。所以在選擇變送器時要充分考慮壓力范圍、精度與其穩(wěn)定性。
針對微操作過程中對微力覺信號的需求,以壓阻檢測技術(shù)為基礎(chǔ)結(jié)合MEMS加工工藝,設(shè)計了一種用于微操作的三維力傳感器,建立傳感器的數(shù)學模型并用有限元分析軟件對敏感彈性元件進行分析。利用懸臂梁受力彎曲變形的原理結(jié)合顯微視覺技術(shù),實現(xiàn)對沖擊力傳感器的標定,并給出了傳感器的信號處理方法。實驗證明,該傳感器具有耦合小、測量分辨率高、線性度好、標定簡單的優(yōu)點,滿足了預計的設(shè)計要求。
三維力傳感器需要多大的精度, 決定精度的有非線性,遲滯性,非重復性,溫度、零點偏置刻度,溫度的影響。但主要由非線性,遲滯性,非重復性,精度越高,價格也就越高。
選擇怎樣的三維力傳感器電壓,輸出信號的類型決定選擇怎么樣的勵磁電壓。許多壓力變送器有內(nèi)置的電壓調(diào)節(jié)裝置,因此其電源電壓范圍較大。有些沖擊力傳感器是定量配置,需要一個穩(wěn)定的工作電壓,因此,工作電壓決定是否采用帶有調(diào)節(jié)器的三維力傳感器,選擇傳送器時要綜合考慮工作電壓與系統(tǒng)造價。