基于應(yīng)變的壓力傳感器使用應(yīng)變片作為壓力敏感元件,通常是將金屬箔式應(yīng)變片或是膜片粘合到圓柱形彈性體上。應(yīng)變原理壓力傳感器最大優(yōu)點是具有極高剛度,可測量高達15000 bar的極高壓力。電連接通常通過惠斯通電橋完成,具有極高的精確性和一致的測量結(jié)果。
電容式壓力傳感器使用壓力腔和膜片來產(chǎn)生可變電容。當(dāng)施加壓力時,隔膜變形,電容相應(yīng)減小。通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號。這些傳感器僅限于大約40 bar的低壓。
壓阻式壓力傳感器由一個主要由硅制成的膜片組成,采用集成的應(yīng)變片來檢測施加壓力產(chǎn)生的應(yīng)變。通常采用惠斯通電橋來降低靈敏度并增加輸出。由于所使用的材料,壓力限制在1000 bar左右。與上述技術(shù)不同的是,諧振式壓力傳感器通過結(jié)構(gòu)共振頻率的變化來測量由施加壓力引起的應(yīng)力。根據(jù)這種傳感器的設(shè)計,諧振元件可以暴露于介質(zhì)中,其中諧振頻率取決于介質(zhì)的密度。通常這些傳感器會對沖擊和振動敏感。
另外不使用測量體的其它壓力傳感器有熱或電離壓力傳感器,其利用帶電粒子流動產(chǎn)生的密度變化來測量所施加的壓力。