壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號(hào)處理單元組成，按不同測(cè)試壓力類型，壓力傳感器可以分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。若根據(jù)結(jié)構(gòu)與原理不同來劃分，可分為:壓阻式、壓電式、電容式、應(yīng)變式、振頻式、光電式、超聲式壓力傳感器等。下面分別介紹幾個(gè)不同的壓力傳感器及其工作原理。
壓阻式壓力傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器，單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測(cè)量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。電阻應(yīng)變片是壓阻式應(yīng)變傳感器主要組成部分之一，金屬電阻應(yīng)變片得工作原理是吸附在基體材料上，應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象，俗稱電阻應(yīng)變效應(yīng)。
壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器主要是基于壓電效應(yīng)， 利用電氣元件和其它機(jī)械把待測(cè)的壓力轉(zhuǎn)換為電量，再進(jìn)行相關(guān)測(cè)量工作的測(cè)量精密儀器。要注意的是，壓電式壓力傳感器不可以用在靜態(tài)的壓力測(cè)量當(dāng)中，這是因?yàn)槭艿酵饬ψ饔煤蟮碾姾?，只有再回路具有無限大的輸入阻抗時(shí)才能得到保存。而壓電式壓力傳感器無法實(shí)現(xiàn)，只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的壓力。
