測(cè)力傳感器的處理工藝主要包括熱處理法和機(jī)械法，其中，熱處理法多應(yīng)用于鋁合金測(cè)力傳感器，在毛坯加工成彈性元件后進(jìn)行，主要包括反淬火法、冷熱循環(huán)法和恒溫時(shí)效法三種工藝。
1、反淬火法
國(guó)內(nèi)也稱深冷急熱法。將鋁合金彈性元件置于-196℃的液氮中，保溫12小時(shí)后，迅速用新生的高速蒸汽噴射或放入沸水之中。因深冷與急熱產(chǎn)生的應(yīng)力方向相反而相互抵消，達(dá)到釋放殘余應(yīng)力的目的。
2、冷熱循環(huán)法
冷熱循環(huán)穩(wěn)定性處理工藝，可使殘余應(yīng)力下降90%左右，并且組織結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，微量塑性變形抗力高，尺寸穩(wěn)定性好。釋放殘余應(yīng)力的效果如此明顯，一是因?yàn)榧訜釙r(shí)原子熱運(yùn)動(dòng)能量增加，點(diǎn)陣畸變減小或消失，內(nèi)應(yīng)力下降，上限溫度越高，原子熱運(yùn)動(dòng)越大塑性越好，越有利于殘余應(yīng)力釋放。二是因?yàn)槔錈釡囟忍荻犬a(chǎn)生的熱應(yīng)力與殘余應(yīng)力相互作用，使其重新分布而獲得殘余應(yīng)力下降的效果。
微型測(cè)力傳感器
3、恒溫時(shí)效法
恒溫時(shí)效即可消除機(jī)械加工產(chǎn)生的殘余應(yīng)力，又能消除熱處理引入的殘余應(yīng)力。LY12硬鋁合金在200℃高溫下恒溫時(shí)效時(shí)，殘余應(yīng)力釋放與時(shí)效時(shí)間關(guān)系表明，保溫24小時(shí)，可使殘余應(yīng)力下降50%左右。
以上就是測(cè)力傳感器熱處理法的具體介紹。
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